LED基板研磨砂轮
在半导体元器件的前段加工中，晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮，常用的LED基板有砷化镓(GaAs)和人造蓝宝石(单晶氧化铝)，在对这两种材料的减薄研磨中，必须保证基板的平行度和表面粗糙度，同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹，这就对所使用的钻石砂轮提出很高的要求，经过我们与客户密切合作，开发出了适合这两种材料的砂轮。
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结合剂 |
形状 |
D(mm) |
W(mm) |
X(mm) |
H(mm) |
粒度 |
用途 |
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陶瓷 金属 |
6A2 |
150 |
3-10 |
5-10 |
M12x1.75 |
D300-3000 |
蓝宝石/砷化镓 |
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6A9S |
254 |
4 |
8+1 |
155 |
D300-3000 |
硅晶圆回 |
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6A9S |
254 |
3-4 |
10+2 |
155 |
D300-400 |
蓝宝石 |
适用于GaAs等半导体材料的平面研
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结合剂 |
形状 |
D(mm) |
X(mm) |
U(mm) |
L(mm) |
H(mm) |
粒度 |
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树脂 |
6A9 |
150 |
3 |
8 |
20 |
M12 |
D400-D2000 |
亦可依据客人提供资料、图面等资讯进行客制。